|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| МАГНЕТРОННАЯ РАСПЫЛИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА |  |
Номер публикации патента: 2107971 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01J037/317 H01J037/34 C23C014/35 | | Аналоги изобретения: | 1. Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетропные распылительные системы. - М.: Радио и связь, 1982, с. 11, 45. 2. Костржицкий А.И. и др. Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме. - М.: машиностроение, 1991, с. 18 - 19. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете | | Изобретатели: | Ананьин П.С.
Кривобоков В.П.
Кузьмин О.С.
Легостаев В.Н. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете |
Реферат | |
Магнетронная распылительная система (МРС) относится к плазменной технике и предназначена для нанесения пленок из металлов и их соединений. МРС содержит анод, катод-мишень и магнитную систему. Магнитная система представляет собой корпус из магнитомягкого материала, являющийся внешним магнитопроводом. Внутри него вдоль оси системы с зазорами на торцах расположен центральный магнитопровод. Все пространство между магнитопроводами вдоль центрального магнитопровода заполнено постоянными магнитами. В зазорах на торцах системы расположены дополнительные постоянные магниты, закрытые со стороны центрального магнитопровода концевыми наконечниками из магнитомягкого материала. Между ними и центральным магнитопроводом имеется зазор. МРС позволяет значительно увеличить зону равномерного напыления покрытия без увеличения габаритных размеров системы. 4 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента