Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПЛАСТИН КРЕМНИЯ

Номер публикации патента: 2105381

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 96123905 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: H01L021/322    
Аналоги изобретения: 1. Лабунов В.А. и др. Современные методы геттерирования в технологии полупроводниковой электроники. - Зарубежнаая электронная техника. - 1983, N 11, с.3 - 66. 2. Немцов Г.З. и др. Очистка кремния от примесей с помощью внутреннего геттера. Микроэлектроника. - 1983, т.12, вып.3, с.432 - 439. 

Имя заявителя: Научно-исследовательский институт измерительных систем 
Изобретатели: Петуров Н.И.
Скупов В.Д.
Синегубко Л.А.
Кабальнов Ю.А.
Соловьев А.И.
Смолин В.К. 
Патентообладатели: Научно-исследовательский институт измерительных систем 

Реферат


Использование: в области микроэлектроники для подготовки кремниевых пластин-подложек в производстве дискретных приборов и интегральных схем. Сущность изобретения: предварительно пластины упруго деформируют изгибом так, чтобы рабочая сторона пластины была вогнутой, затем производят 3-х стадийный отжиг платины в деформированном состоянии в инертной атмосфере вначале при температуре из интервала 1270 - 1470 К, затем снижают температуру со скоростью 1,4 - 1,6 град./мин., выдерживают пластины при температуре из интервала 1070 - 1120 К, поднимают температуру со скоростью 1,4 - 1,6 град./мин., и вновь выдерживают при температуре из интервала 1270 - 1470 К. 1 табл.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"