На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ АЛМАЗОПОДОБНОГО ПОКРЫТИЯ | |
Номер публикации патента: 2105082 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | C23C014/02 C23C014/12 | Аналоги изобретения: | Оптико-механическая промышленность, 1982, N 9, с.52. |
Имя заявителя: | Александров Сергей Игоревич | Изобретатели: | Александров Сергей Игоревич | Патентообладатели: | Александров Сергей Игоревич |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии получения алмазоподобных пленок и может быть использовано для нанесения твердых, износостойких, химически инертных и аморфных алмазоподобных покрытий толщиной до 59 мкм с высокой адгезией к изделиям. Перед нанесением алмазоподобного покрытия положительный потенциал величиной 0,3...3 кВ подают на все три пластины анодо- и при этом производят травление изделия ионами инертного газа, затем подают отрицательный потенциал величиной 0,3...0,9 кВ на две крайние пластины при заземленной центральной и наносят на изделие адгезионный подслой в среде инертного газа, а затем подают положительный потенциал величиной 0,3..3 кВ на все три пластины анода и наносят алмазоподобное покрытие в среде углеводорода. 1 табл.
|