|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОРИСТЫХ МЕМБРАН |  |
Номер публикации патента: 2104759 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | B01D067/00 B01D071/00 | | Аналоги изобретения: | Флеров Г.Н., Барашенкова В.С. УФН. - 1974, т. 114, вып.2, с. 361-369. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт физической оптики и оптики лазеров, информационных оптических систем - Головной институт Всероссийского научного центра "ГОИ им.С.И.Вавилова" | | Изобретатели: | Дымшиц Ю.И. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт физической оптики и оптики лазеров, информационных оптических систем - Головной институт Всероссийского научного центра "ГОИ им.С.И.Вавилова" |
Реферат | |
Способ изготовления пористых мембран включает локальное облучение исходной пленки потоками высокоэнергетических частиц /квантов излучения, электронов или ионов/ и последующую обработку травителем. Перед облучением пленку покрывают резистом в виде пространственно разделенных островков и растягивают. После облучения растягивающие усилия снимают, обработку травителем ведут в две ступени, на первой из которых - при помощи травителя, вытравливающего отверстия в резисте и не воздействующего на исходную пленку, а на второй ступени - при помощи травителя, вытравливающего отверстия в исходной пленке через отверстия в слое резиста и не воздействующего на последний. Покрытие резистом может быть получено путем нанесения на исходную пленку сплошного слоя резиста, его рассечение на островки посредством воздействия потока высокоэнергетических частиц и последующей обработки травителем, не воздействующим на исходную пленку, но вытравливающим канавки по границам островков, а перед облучением исходной пленки ее дополнительно растягивают. 7 з.п. ф-лы, 4 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента