На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ МОКРОЙ ХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ДИСКОВЫХ ЗАГОТОВОК | |
Номер публикации патента: 2099812 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | H01L021/306 B01F003/04 | Аналоги изобретения: | DE, заявка, 3818714 А1, кл. H 01 L 21/306, 1989. US, патент, 5014727, кл. B 08 B 3/08, 1991. |
Имя заявителя: | Вакер Силтроник Гезельшафт фюр Халбляйтерматериалиен АГ (DE) | Изобретатели: | Макс Штадлер[DE] Гюнтер Шваб[DE] Петер Ромедер[DE] | Патентообладатели: | Вакер Силтроник Гезельшафт фюр Халбляйтерматериалиен АГ (DE) | Номер конвенционной заявки: | P 4316096.4 | Страна приоритета: | DE |
Реферат | |
Использование: изобретение касается способа мокрой химической обработки дисковых заготовок, в частности, полупроводниковых дисков. Сущность: заготовки из полупроводникового материала обрабатывают с помощью омывания насыщенной газом обрабатывающей средой, представляющей собой жидкость с гомогенно диспергированными в ней газовыми пузырьками. 4 з.п. ф-лы, 2 ил., 1 табл.
|