На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КОНФОРМНОГО АЛМАЗОПОДОБНОГО УГЛЕРОДНОГО ПОКРЫТИЯ

Номер публикации патента: 2099282

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  96110600		Получить полное описание патента

Реферат

Использование: в микро- и оптоэлектронике для получения устройств регистрации теплового и светового излучения, записи и считывания информации. Сущность изобретения: подложку закрепляют на подвижном подложкодержателе в СВЧ-плазнохимической установке с ЭЦР-разрядом, герметизируют до 2·10^-3 Па, подают рабочий газ - чистые углеводороды, молекулы которых содержат атомы химических элементов с высокой электроотрицательностью, например ацетон, зажигают СВЧ-разряд, создают условия ЭЦР. Подложку выносят из зоны ЭЦР. Получают конформное алмазоподобное углеродное покрытие с содержанием водорода не более 10 ат.%, характеризующееся резким ростом электропроводимости при температуре более 350^oC. Ширина запрещенной зоны 3,45 эВ, пленка обладает катодолюминесценцией с интенсивностью 8000 отн.ед. при λ=465 нм. 4 ил.

Вернуться к списку