|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ТОПОЛОГИИ ИНТЕГРАЛЬНОЙ МИКРОСХЕМЫ |  |
Номер публикации патента: 2098885 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/268 | | Аналоги изобретения: | Готра З.Ю. Справочник по технологии микроэлектронных устройств. - Львов: Каменяр, 1986, с.179 - 182. Гукетлев Ю.Х. и др. Лазерная технология интегральных схем. - М.: Радио и связь, 1991, с.214. |
| Имя заявителя: | Акционерное общество закрытого типа "Технологии для Вас" | | Изобретатели: | Криворучко В.А.
Петров Н.А.
Попов В.Ф.
Федоренко В.В. | | Патентообладатели: | Акционерное общество закрытого типа "Технологии для Вас." |
Реферат | |
Изобретение относится к производству микросхем и может быть использовано при формировании функциональных слоев микросхем (в т.ч. гибридных, интегрированных на целой пластине и т.п.). Сущность: в способе формирования топологии ИС с помощью термочувствительной пленки под воздействием лазерного излучения формируют топологический рисунок, а затем оставшийся слой термочувствительной пленки либо удаляют с помощью нагрева подложки, либо оставляют как изолирующий или планаризирующий слой. 1 з.п. ф-лы.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента