|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ |  |
Номер публикации патента: 2098511 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/22 | | Аналоги изобретения: | FR, A N 2623211, кл. C 23 C 14/54, 1989. EP, N 0393764, кл. C 23 C 14/22, 1990. |
| Имя заявителя: | Вербицкий Олег Иванович | | Изобретатели: | Вербицкий Олег Иванович | | Патентообладатели: | Вербицкий Олег Иванович |
Реферат | |
Сущностью изобретения является устройство для нанесения покрытия при неглубоком вакууме. Вместо снижения давления остаточных газов испарение материала от источника производят при взаимном перемещении системы источник - заслонка относительно подложки, при этом заслонка перекрывает приграничную зону потока испаряемого материала, в которой происходит поглощение остаточного газа, и при этом плотно прилегает к поверхности подложки. 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента