|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОРИСТЫХ ФИЛЬТРОВ |  |
Номер публикации патента: 2094104 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | B01D067/00 B01D071/00 | | Аналоги изобретения: | Флеров Г.И., Барашенков В.С. - УФН, 1974, т. 114, вып. 2, с. 361 - 369. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт физической оптики и оптики лазеров, информационных оптических систем - Головной институт Всероссийского научного центра ГОИ им.С.И.Вавилова | | Изобретатели: | Дымшиц Ю.И.
Любарский С.В.
Погорелый П.А. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт физической оптики и оптики лазеров, информационных оптических систем - Головной институт Всероссийского научного центра ГОИ им.С.И.Вавилова |
Реферат | |
Способ изготовления пористых фильтров включает локальное облучение потоками высокоэнергетических частиц (квантов излучения, ионов или электронов) исходной пленки или пластины и последующую обработку травителем. При этом перед облучением на исходную пленку или пластину наносят слой эластичного резиста, после облучения проводят операцию усадки, травление ведут в две ступени, на первой из которых при помощи травителя, не воздействующего на исходную пленку или пластину и вытравливающего сквозные отверстия в резисте, а на второй ступени при помощи травителя, не воздействующего на слой эластичного резиста и вытравливающего сквозные отверстия в пленке или пластине через отверстия в слое эластичного резиста. Усадку проводят до первой ступени травления или после нее. Перед второй ступенью травления пленку или пластину дополнительно облучают потоками высокоэнергетических частиц через отверстия в слое эластичного резиста. В качестве последнего используют лэнгмюровскую пленку. 5 з.п. ф-лы, 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента