|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИШЕНИ ДЛЯ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ИЗ АЛЮМИНИЯ ОСОБОЙ ЧИСТОТЫ |  |
Номер публикации патента: 2091501 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/35 | | Аналоги изобретения: | 1. Заявка Японии N 62-278261, кл. С 23 С 14/34, 1987. 2. Разработать опытно-промышленную технологию изготовления мишеней для установки МАГНА 2Н из лантаноидсодержащих сплавов на основе алюминия особой чистоты (АОИ) марки А5М: Отчет// Тема 5-89-377 N гос.регистр. 01900060696. - Л., 1990. |
| Имя заявителя: | Всесоюзный ордена Октябрьской революции научно-исследовательский и проектный институт алюминиевой, магниевой и электродной промышленности | | Изобретатели: | Сильников В.Н.
Желобова Е.П.
Беличко М.Т.
Симченко Н.В.
Сильникова Е.Ф.
Кейзмов Э.С.
Бахарев Ю.В.
Беляков Ю.И.
Хрусталев В.А.
Пендюрин В.А. | | Патентообладатели: | Акционерное общество открытого типа "Всероссийский алюминиево-магниевый институт" |
Реферат | |
Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано в металлургии в создании термостабилизированных профилей из алюминия особой чистоты. Целью изобретения является повышение эксплуатационных характеристик за счет стабилизации структуры. Поставленная цель достигается тем, что в способе изготовления мишени из алюминия особой чистоты, включающем штамповку, мишень охлаждают, например в жидком азоте с градиентом температуры не менее 100oС/см и отжигают при температуре 450-640oС. Сущность изобретения заключается в том, что в процессе охлаждения мишени с градиентом температуры не менее 100oС/см в структуре мишени вначале происходят неравномерные температурные деформации и возникают натяжения, которые в процессе отжига реализуются, способствуя рекристаллизации и, таким образом, стабилизации структуры. 2 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента