|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| РАСТВОР ДЛЯ РАЗМЕРНОГО ТРАВЛЕНИЯ ПЛЕНОК ФТАЛОЦИАНИНА МЕДИ |  |
Номер публикации патента: 2090652 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23F001/02 | | Аналоги изобретения: | 1. Казанцева В.И., Лаврин Н.В. и др. Поверхность. - Физика, химия, механика. - 1994, N 1, с.64 - 70. 2. Симон Ж., Андре Ж. Молекулярные полупроводники. - М.: Мир, 1988, с.55. 3. Вредные вещества в промышленности. Справочник, дополненный том /Под ред. Н.В. Лазарева. - Л.: Химия, 1969, с.369 - 388. 4. Авторское свидетельство СССР N 1715887, кл. C 23 F 3/03, 1992. 5. Курносов А.И. Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. - М.: Высшая школа, 1980, с.86. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт измерительных систем | | Изобретатели: | Смолин В.К.
Гусев В.К.
Голубева Л.Н. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт измерительных систем |
Реферат | |
Изобретение относится к области микроэлектронной техники и может быть использовано, в частности, при формировании рисунка элементов на основе органического полупроводника - фталоцианина меди. Раствор для размерного травления пленок фталоцианина меди содержит, об.%: серная кислота - 16-17, азотная кислота - 16-17, соляная кислота - 16-17, уксусная кислота - 43-40, вода - остальное. Применение раствора позволяет повысить качество изготовления элементов на основе пленок фталоцианина меди за счет эффективности удаления обрабатываемого материала и снижения неровности края топологических элементов. 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента