|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| КОМБИНИРОВАННЫЙ СКАНИРУЮЩИЙ ТУННЕЛЬНЫЙ МИКРОСКОП - РАСТРОВЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП |  |
Номер публикации патента: 2089968 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01J037/28 G02B021/26 | | Аналоги изобретения: | 1. Приборы и техника эксперимента. - 1989, N 5, с. 185 - 187. 2. Патент США N 5081353, кл. H 01 J 37/28, 1990. |
| Имя заявителя: | Институт прикладной механики Уральского отделения РАН | | Изобретатели: | Липанов А.М.
Шелковников Ю.К.
Осипов Н.И.
Тарасов А.В.
Миронов С.В. | | Патентообладатели: | Институт прикладной механики Уральского отделения РАН |
Реферат | |
Использование: для топографии и анализа состав поверхности. Сущность изобретения: комбинированный сканирующий - растровый электронный микроскоп (СТМ-РЭМ) содержит вакуумную камеру, в которой размещена головка СТМ со столиком для установки образца, при этом РЭМ и СТМ подключены к блоку управления, обеспечивающего их совместную работу, а грубый привод перемещения иглы головки СТМ выполнен в виде параллелепипеда, закрепленного посредством электростатических зажимов, соединенных с металлическим диском, который зажат через изолирующие прокладки в металлических шайбах, закрепленных на верхнем торце трубчатого пьезопривода грубого перемещения. 4 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента