|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| КАТОДНЫЙ УЗЕЛ С СИСТЕМОЙ ПИТАНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2089663 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/54 C23C014/00 | | Аналоги изобретения: | 1. Патент США N 3528902, кл. 204-192, 1970. 2. Авторское свидетельство СССР N 910843, кл. C 23 C 14/36, 1982. |
| Имя заявителя: | Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) | | Изобретатели: | Ивашов Е.Н.
Кондрашов П.Е.
Оринчев С.М.
Слепцов В.В.
Степанчиков С.В. | | Патентообладатели: | Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) |
Реферат | |
Сущностью изобретения является устройство катодного узла с системой питания для нанесения тонких пленок, в котором анод выполнен в виде концентрических колец, связанных между собой диэлектрическими перемычками, число колец не менее трех, причем кольца выполнены с возможностью подачи на них потенциалов различной величины от системы питания. Отношение диаметра проволоки к диаметру кольца составляет 0,05 - 0,1, отношение диаметра наибольшего кольца к расстоянию от плоскости подложки - не менее двух, отношение расстояния между концентрическими окружностями ближайших колец к наибольшему диаметру проволоки составляет не менее десяти, а число перемычек между ближайшими кольцами - три. 3 з.п. ф-лы, 3 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента