|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИШЕНИ |  |
Номер публикации патента: 2086699 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/35 | | Аналоги изобретения: | Заявка Японии N 6096760, кл.H 01 C 7/00, 1972. Авторское свидетельство СССР N 254304, кл.C 23 C 15/00, 1972. |
| Имя заявителя: | Красноярский институт космической техники (завод-втуз) | | Изобретатели: | Лепешев А.А.
Саунин В.Н.
Телегин С.В. | | Патентообладатели: | Сибирская аэрокосмическая академия |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии изготовления мишеней для катодного распыления материалов и может быть использовано при нанесении покрытий, применяемых в машиностроении, приборостроении, радиоэлектронике и других отраслях народного хозяйства. В изобретении используется высокоскоростной нагрев порошка распыляемого материала в потоке низкотемпературной плазмы до температур на 50-200К, превышающих его температуру плавление, что снижает вероятность окисления и выгорания элементов, а дальнейший разгон материала в плазменном потоке до скоростей 200-350 м/с способствует увеличению плотности покрытия, заполнению микронеровностей поверхности расплавленными частицами, что обеспечивает прочное сцепление покрытия с основанием мишени и высокую механическую прочность при термоударах и термоциклировании, а поддержание температуры основания мишени при осаждении расплавленных частиц в интервале 280-350К уменьшает внутренние напряжения в нанесенном слое и приводит к увеличению толщины слоя распыляемого материала в местах наиболее интенсивного износа, что обеспечивает увеличение коэффициента использования материала мишени.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента