|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИФРАКЦИОННОГО ОПТИЧЕСКОГО ЭЛЕМЕНТА |  |
Номер публикации патента: 2084010 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G03H001/18 G02B005/18 | | Аналоги изобретения: | 1. SU, N 1267334, кл. G 02 B 5/18, 1986. 2. Беляков Л.В. и др. Методы контроля параметров дифракционных решеток, получаемых фотохимическим травлением полупроводников.-Л.: деп. ВИНИТИ N 1438-76, 1976, с. 8 и 12, рис. 1г. |
| Имя заявителя: | Научно-производственное объединение "Государственный институт прикладной оптики" | | Изобретатели: | Лукин А.В.
Лукина Т.А.
Нюшкин А.А.
Скочилов А.Ф. | | Патентообладатели: | Научно-производственное объединение "Государственный институт прикладной оптики" |
Реферат | |
Использование: контроль параметров микрорельефа дифракционного оптического элемента (ДОЭ) непосредственно в процессе его изготовления. Сущность изобретения: в способе изготовления ДОЭ проводят формирование заданной периодической рельефно-фазовой структуры в его рабочем слое с одновременным измерением интенсивностей дифрагированных пучков и определение момента окончания формирования структуры по результатам измерения. Окончание формирования структуры определяют по соотношению интенсивностей не менее чем двух выбранных порядков дифракции неактиничного зондирующего пучка, полученному расчетным или опытным путем, с учетом отличий схемы его контроля от схемы, в которой он будет использован. 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента