|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКОГО РАСПОЛОЖЕНИЯ ЛИНЗ И ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2078305 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G01B009/02 | | Аналоги изобретения: | 1. Сокольский М.Н. Допуски и качество оптического изображения. - Л.: Машиностроение, 1989, с. 222. 2. Креопалова Г.В., Лазарева Н.Л. и др. Оптические измерения. - М.: Машиностроение, 1987, с. 96 и 97. |
| Имя заявителя: | Санкт-Петербургский институт точной механики и оптики | | Изобретатели: | Гуров И.П. | | Патентообладатели: | Санкт-Петербургский институт точной механики и оптики |
Реферат | |
Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для высокоточного бесконтактного определения расстояния между оптической и геометрической осями линз и расстояния между поверхностями линз. Задача изобретения - контроль расположения линз вдоль геометрической оси и повышения точности контроля. Для этого используют источник излучения с малой длиной когерентности, с помощью системы из двух линз освещают контролируемую систему линз, формируют опорную волну с помощью последовательно расположенных светоделителя, первого объектива и опорного отражателя. Последовательно получают в обратном ходе лучей на выходе светоделителя и второго объектива интерференцию волн для каждой контролируемой поверхности системы линз при перемещении, с помощью привода поступательного перемещения, опорного отражателя с получением малой оптической разности хода (соответствующей длине когерентности излучения) опорной волны и волны, отраженной от контролируемой поверхности. Предварительно определив относительно заданной геометрической оси пространственные координаты фотоэлектрических каналов, реализуемых с использованием многоэлементного фотоэлектрического образователя, установленного на выходе второго объектива, осуществляют многоканальное фотоэлектрическое преобразование каждой интерференционной картины. Затем получают с использованием регистрирующего блока массив значений фотоэлектрического сигнала для каждой интерференционной картины, фиксируют и определяют относительно заданной геометрической оси положение массива значений фотоэлектрического сигнала соответственно в запоминающем блоке и блоке обработки, последовательно подключенных к выходу регистрирующего блока. Измеряют с использованием блока измерения перемещения опорного отражателя изменения оптической длины пути опорной волны, соответствующие различным интерференционным картинам и по этим измерениям судят о расположении линз вдоль геометрической оси. О смещении центров систем интерференционных колец судят по совокупности полученных в блоке обработки величин смещений массивов значений фотоэлектрического интерференционного сигнала, зафиксированных в запоминающем блоке. 2 с. п. ф-лы, 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента