На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

ВАКУУМНЫЙ ЗАТВОР

Номер публикации патента: 2076293

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  95113745		Получить полное описание патента

Реферат

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к вакуумным затворам для перекрытия рабочих проемов вакуумных устройств, и может найти применение для уплотнения при вводе в камеру с разреженным пространством или извлечения из нее без нарушения вакуума крупногабаритных объектов, например, тонированных стеклянных пластин.

Достигаемым техническим результатом изобретения является расширение функциональных возможностей вакуумного затвора за счет обеспечения отвода заслонки без ее взаимного перекрывания с выходным отверстием с одновременным повышением надежности при перемещении крупногабаритных подложек.

Для достижения технического результата в вакуумном затворе заслонка размещена с возможностью перемещения вдоль выходного отверстия до прекращения их взаимного перекрывания и с возможностью контактирования с рычажной системой посредством регулируемого по высоте юстировочного винта, установленного на торцовой поверхности рычажной системы.

Заслонка может быть выполнена в виде элемента прямоугольной формы, а уплотняющий приводной механизм выполнен по крайней мере из двух гидроцилиндров и контактирует с заслонкой посредством установленных на концах соответствующих штоков рычажных систем с регулируемыми по высоте юстировочными винтами симметрично относительно ее большой оси. 1 з.п. ф-лы. 2 ил.

Вернуться к списку