|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| КАТОДНЫЙ УЗЕЛ ДЛЯ ИОННО - ПЛАЗМЕННОГО НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ |  |
Номер публикации патента: 2074904 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/35 | | Аналоги изобретения: | Патент ФРГ N 3619194, кл. С 23 С 14/34, 1987. |
| Имя заявителя: | Ивашов Евгений Николаевич | | Изобретатели: | Ивашов Евгений Николаевич
Кондрашов Павел Евгеньевич
Оринчев Сергей Михайлович
Слепцов Владимир Владимирович
Степанчиков Сергей Валентинович | | Патентообладатели: | Ивашов Евгений Николаевич
Кондрашов Павел Евгеньевич
Оринчев Сергей Михайлович
Слепцов Владимир Владимирович
Степанчиков Сергей Валентин |
Реферат | |
Изобретение относится к нанесению тонких пленок путем ионного распыления материала в вакууме. В основу изобретения положена задача создать магнитную систему, у которой напряженность и индукция в межполюсной области изменяются во времени и пространстве. Эта задача решается тем, что магнитная система выполнена в виде основных электромагнитов с замкнутыми сердечниками в форме швеллера, установленных друг относительно друга одноименными полюсами, а внутри основных электромагнитов расположены дополнительные электромагниты также с загнутыми сердечниками в форме швеллера и установленные друг относительно друга также одноименными полюсами, причем магнитное поле основных и дополнительных электромагнитов пересекаются под углом 90o, а их количестве не менее, чем по два каждого. 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента