На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

МАГНЕТРОН ЦИЛИНДРИЧЕСКОГО ТИПА ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ ВНУТРЕННЕЙ ПОВЕРХНОСТИ ТЕЛ

Номер публикации патента: 2074575

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  94039365		Получить полное описание патента

Реферат

Магнетрон цилиндрического типа для напыления внутренней поверхности тела, состоящий из вакуумной камеры, проходного высоковольтного изолятора, катода-мишени, элементов магнитной системы и источников питания, отличающийся тем, что каждый элемент магнитной системы выполнен из набора кольцевых постоянных магнитов со встречными полюсами с соотношением толщины магнитов 1:4: 1, состыкованных через шайбы-концентраторы магнитного поля, выполненные из ферромагнитного материала и толщиной, определяемой из соотношения
6 < h₁/h₀ < 7,
где h₀ - толщина шайбы-концентратора магнитного поля;
h₁ - толщина единичного кольцевого магнита,
а на концах каждого элемента магнитной системы установлены шайбы-полюсные наконечники толщиной h₁ из ферромагнитного материала.

Вернуться к списку