На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ НАПУСКА ГАЗА В ВАКУУМНУЮ КАМЕРУ | |
Номер публикации патента: 2073745 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | C23C014/56 | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 1812243, кл. С 23 С 14/46, 1991. Патент США N 3916622, кл. С 23 С 13/08, 1976. |
Имя заявителя: | Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) | Изобретатели: | Вологиров А.Г. Ивашов Е.Н. Кондрашов П.Е. Оринчев С.М. Слепцов В.В. Степанчиков С.В. | Патентообладатели: | Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) |
Реферат | |
Изобретение относится к области технологической обработки материалов в вакууме, а более конкретно к способам напуска газа в вакуумную камеру. В основу изобретения положена задача обеспечить равномерность подачи газа по всей поверхности обрабатываемого материала при регулировании потоком газа. Эта задача решается тем, что в качестве пористого материала используют материал с эффективными адсорбционными свойствами, например, цеолит, в стенке, из пористого материала располагают систему охлаждения и систему нагрева. 2 з.п. ф-лы. 1 ил.
|