|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОПОГРАФИИ ПОВЕРХНОСТИ ВЕЩЕСТВА ПОСРЕДСТВОМ СКАНИРУЮЩЕГО ТУННЕЛЬНОГО МИКРОСКОПА |  |
Номер публикации патента: 2072581 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01J037/28 H01J037/285 G01N022/00 G01N022/04 | | Аналоги изобретения: | Scanning capacitane mieroscopy, C.D.Bugg, P.J.King, J.Phys E. Sc.Jnstrum N 21, 1988, 147-151. СН N 643397, кл. H 01J 37/285, 1984 г. |
| Имя заявителя: | Институт радиотехники и электроники РАН | | Изобретатели: | Кислов В.В.
Перевощиков В.А.
Колесов В.В.
Потапов А.Ю.
Алекперов С.Д. | | Патентообладатели: | Институт радиотехники и электроники РАН |
Реферат | |
Относится к области приборостроения, в частности к сканирующей туннельной микроскопии, используемой для исследования поверхности проводящих веществ. Способ определения топографии поверхности вещества посредством сканирующего туннельного микроскопа заключается в том, что поверхность исследуемого вещества сканируют металлической иглой в режиме постоянного туннельного тока, для чего в каждой точке сканирования производят вертикальное перемещение иглы относительно исследуемой поверхности так, чтобы туннельный ток в каждой точке сканирования равнялся величине туннельного тока в первой точке сканирования, при этом данные о микроструктуре поверхности исследуемого вещества получают, регистрируя перемещение иглы, дополнительно каждую точку сканирования посредством сканирующего туннельного микроскопа после установления иглы в положение, соответствующее необходимой величине туннельного тока, зондируют СВЧ сигналом при помощи металлической иглы сканирующего туннельного микроскопа, установленной в вершине конической поверхности коаксиального СВЧ резонатора, в который помещают исследуемое вещество, регистрируют изменения СВЧ сигнала, определяют диэлектрическую проницаемость исследуемого вещества, по которой и по данным, полученным посредством сканирующего туннельного микроскопа формируют картину топографии исследуемого вещества. 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента