|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ УГЛЕРОДНОЙ МИШЕНИ |  |
Номер публикации патента: 2069454 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H05H006/00 C23C004/10 | | Аналоги изобретения: | 1. Arnison G.T. J.Vacuum evaporation by electron bombwrdment. - Nucl. Instr. Meth., 1996, v. 40, p. 359 - 364. 2. Stoner R.B. аnd Stoner O.Jr. Hard pure carbon coating from a voltage-assisted arc. - Nucl. Iustr. Meth. 1987, v. A257, p. 69 - 70. |
| Имя заявителя: | Лихтенштейн В.Х. | | Изобретатели: | Лихтенштейн В.Х.
Ольшанский Е.Д.
Голянов В.М.
Ивкова Т.М. | | Патентообладатели: | Российский научный центр "Курчатовский институт" |
Реферат | |
Использование: изготовление тонкопленочных конверторов зарядового состава пучков частиц, используемых в тандемных ускорителях и атомных зондах. Сущность изобретения: на стеклянную подложку, покрытую поверхностно-активным веществом, охлажденным до температуры жидкого азота, напыляют углерод в виде ускоренных до высоких энергий нейтральных атомов от 20 до 100 эВ в присутствии инертного газа при низком парциальном давлении, подложку затем удаляют, а полученную свободную пленку переносят на держатель мишени. В качестве инертного газа можно использовать криптон или аргон. Изобретение позволяет повысить механическую прочность мишени, снизить энергетический порог пропускания частиц, увеличить ресурс работы мишени под пучком. 2 з. п. ф-лы.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента