|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ДИАГНОСТИКИ СТРУКТУРНОГО СОВЕРШЕНСТВА МОНОКРИСТАЛЛОВ П - КРЕМНИЯ, ВЫРАЩЕННЫХ ЗОННОЙ ПЛАВКОЙ |  |
Номер публикации патента: 2064713 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/66 | | Аналоги изобретения: | 1. Авторское свидетельство СССР № 1322922, кл. Н О1 L 21/66, 1986. 2. Авторское свидетельство СССР № 1433334, кл. Н О1 L 21/66, 1987. 3. Авторское свидетельство СССР № 1649969, кл. Н О1 L 21/66, 1990. 4. Авторское свидетельство СССР № 1701071, кл. Н О1 L 21/66, 1990. 5. Авторское свидетельство СССР № 1718684, кл. H OI L 21/66, 1990. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт прикладных физических проблем им.А.Н.Севченко (BY) | | Изобретатели: | Казакевич Леонид Александрович[BY]
Лугаков Петр Федорович[BY]
Филиппов Игорь Михайлович[BY] | | Патентообладатели: | Казакевич Леонид Александрович (BY)
Лугаков Петр Федорович (BY)
Филиппов Игорь Михайлович (B |
Реферат | |
Изобретение относится к области измерения параметров полупроводниковых материалов. Исследуемый и эталонный образцы облучают частицами с энергией, достаточной для образования пар Френкеля и интегральным потоком, не приводящим к инверсии типа проводимости, затем отжигают, измеряют зависимость концентрации А-центров от температуры и определяют по ней температуру отжига А-центров. По соотношению между температурами отжига А-центров в исследуемом и эталонном образцах делают заключение о наличии в исследуемом образце дефектов, не выявляемых селективным травлением. 1 табл., 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента