На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СЛОЕВ АМОРФНОГО ГЕРМАНИЯ | |
Номер публикации патента: 2062524 | |
Имя заявителя: | Институт структурной макрокинетики РАН | Изобретатели: | Айвазян Р.Г. Азатян В.В. Мержанов А.Г. | Патентообладатели: | Институт структурной макрокинетики РАН |
Реферат | |
Использование: технология получения полупроводниковых материалов, в производстве интегральных микросхем и фотоприемных устройств. Сущность изобретения: в способе осаждения слоев аморфного германия на подложке, расположенной в зоне осаждения реактора, путем терморазложения моногермана, процесс проводят при температуре 160-290oС, давлении 660-5300 Па в изотермическом статическом реакторе при отношении суммарной поверхности зоны осаждения к объему реактора 1,1-2,2 см-1. Внутреннюю поверхность реактора выполняют из стали, кварца или кварца, покрытого оксидом магния. 1 табл.
|