|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК ДВУОКИСИ КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2061095 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C016/40 | | Аналоги изобретения: | Заявка Японии N 59-53674, кл. C 23C 11/08, 1984. |
| Имя заявителя: | Бориславский научно-исследовательский институт "Синтез" с опытным заводом | | Изобретатели: | Кочубей В.Ф.
Сенюта Т.Б.
Гутор И.М.
Аврустимов В.Л.
Бирковый Ю.Л.
Токарчук В.П.
Гуменяк М.В.
Маскович С.Н. | | Патентообладатели: | Бориславский научно-исследовательский институт "Синтез" с опытным заводом
Концерн "Родон |
Реферат | |
Использование: в микроэлектронике. Сущность изобретения: осаждение из газовой смеси инициируется однократным разрядом в течение 0,001 - 0,01 с, а газовая смесь содержит 0,006 - 0,048 об.% соединения типа SiMn Cl4-n, водород и кислород при их соотношении 1 - 4 : 4. 1 з. п.ф-лы, 1 ил, 2 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента