На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

Номер публикации патента: 2061092

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  5024440		Получить полное описание патента

Реферат

Использование: для вакуумно-плазменной обработки инструмента, деталей машин и прочих изделий из различных материалов. Вакуумная камера разделена на две симметричные полости посредством перегородки, закрепленной на стенке камеры, а между вторым концом перегородки и противолежащей стенкой камеры имеется зазор, через который сообщаются упомянутые полости. Анод и катод двуступенчатого вакуумно-дугового разряда расположены на стенке камеры со стороны закрепленного конца перегородки по обе стороны от нее. В каждой из упомянутых полостей камеры, параллельно перегородке установлены распыляемые электроды со смещением относительно осей симметрии полостей к соответствующей стенке камеры, параллельной перегородке. В качестве перегородки может быть использована непосредственно обрабатываемая деталь, установленная на соответствующим образом расположенном держателе. Данное конструктивное выполнение позволяет создать два встречно направленных тока разряда, протекающих от анода к катоду. Встречно направленные токи создают магнитные поля, которые отклоняют электронный поток в направлении распыляемой мишени (распыляемых электродов), тем самым увеличивая плотность ионного тока на мишень и, соответственно, производительность установки. 2 с. и 2 з. п. ф-лы, 4 ил, 1 табл.

Вернуться к списку