|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТАНОВКА ДЛЯ ВАКУУМНО - ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ В СРЕДЕ РАБОЧЕГО ГАЗА |  |
Номер публикации патента: 2060298 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/32 | | Аналоги изобретения: | Установка "Булат-6". Паспорт, Ф-10000-02-ПС, 1984. |
| Имя заявителя: | Научно-производственное предприятие "Новатех" | | Изобретатели: | Саблев Л.П.
Волин Э.М.
Григорьев С.Н.
Дракин В.И.
Метель А.С. | | Патентообладатели: | Научно-производственное предприятие "Новатех" |
Реферат | |
Сущностью изобретения является установка для вакуумно-плазменной обработки изделий, в которой загруженная кассета с изделиями устанавливается в технологической зоне загрузки-выгрузки, и над ней располагается шлюзовая камера. С помощью механизма подъема кассета загружается в эту камеру, затем последняя размещается над устройством предварительного нагрева в виде печи. Прогретые изделия поднимаются в шлюзовую камеру, которая устанавливается над рабочей вакуумной камерой и герметично соединяется с ней посредством уплотнения. Откачка камеры производится форвакуумным насосом при закрытых заслонках вакуумного затвора. Совместная откачка рабочей и шлюзовой камер производится электродуговым насосом. После откачки в рабочую камеру подается гелий, и на анод подается напряжение. Нанесение покрытия осуществляют подачей напряжения на распыляемую мишень. Распыленный металл осаждается на изделии. 8 з. п. ф-лы, 4 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента