|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ БЕЗКОНТАКТНОГО ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ КРЕМНИЕВОЙ ПЛАСТИНЫ |  |
Номер публикации патента: 2054749 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/66 | | Аналоги изобретения: | 1. Заявка Японии N 48-2639, кл. 111 Е6, 1973. 2. Афанасьев В.А., Крысов Г.А., Синьков Ю.П., Юхведин М.Я. Бесконтактное измерение температуры кремниевых структур в процессе импульсной термообработки. Электронная промышленность, 1986, вып.2(152). |
| Имя заявителя: | Крысов Георгий Александрович,Духновский Михаил Петрович,Вяхирев Владимир Борисович | | Изобретатели: | Крысов Георгий Александрович
Духновский Михаил Петрович
Вяхирев Владимир Борисович | | Патентообладатели: | Крысов Георгий Александрович
Духновский Михаил Петрович
Вяхирев Владимир Борисович |
Реферат | |
Использование: в радиационной пирометрии, а именно бесконтактных способах измерения температуры пластин кремния, облучаемых с целью нагрева внешними облучателями - спиралями накаливания, газоразрядными лампами, лазерами и т. п. . Сущность изобретения: предлагается для повышения точности измерения температуры учитывать изменение составляющей стороннего излучения отраженного от пластины в связи с изменением яркости свечения источников нагрева.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента