|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ МЕТАЛЛИЗАЦИИ ПОЛИМЕРНОЙ ПЛЕНКИ |  |
Номер публикации патента: 2050419 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/24 C23C014/58 | | Аналоги изобретения: | Микроэлектронная аппаратура на бескорпусных интегральных микросхемах. Под ред. И.Н.Воженина. М.: Радио и связь, 1985, с.264. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт механики и физики при Саратовском государственном университете | | Изобретатели: | Владимирова Е.В.
Иванченко В.А. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт механики и физики при Саратовском государственном университете |
Реферат | |
Использование: область микроэлектроники, нанесение металлического покрытия на полимерную пленку, в частности для производства интегральных схем. Сущность изобретения: способ металлизации полимерной пленки включает химическое травление пленки в подогретой хромовой смеси на основе серной кислоты, нанесение металла вакуумным напылением на поверхность с последующим воздействием ультрафиолетовым излучением плотностью мощности 1,51 J < 6,04 Вт/см2 что повышает прочность покрытия за счет улучшения а
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента