|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТАНОВКА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК МЕТОДОМ ИОННО - ПЛАЗМЕННОГО РАСПЫЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2046840 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/32 C23C014/00 | | Аналоги изобретения: | Иванов Р.Д. Магнитные металлические пленки в микроэлектронике. М.: Сов.радио, 1980, с.88. |
| Имя заявителя: | Институт микроэлектроники РАН | | Изобретатели: | Бочкарев В.Ф.
Горячев А.А.
Наумов В.В. | | Патентообладатели: | Институт микроэлектроники РАН |
Реферат | |
Использование: для получения тонких пленок от аморфного до эпитаксиального состояния с заданными стехиометрическими параметрами. Сущность изобретения: установка, содержащая корпус с рабочей и катодной камерами, соединенными диафрагмой с калиброванным отверстием, систему напуска рабочего газа, систему откачки, соосно калиброванному отверстию расположенные накаливаемый катод, анод и соленоиды в рабочей и катодной камерах, параллельно оси которых и напротив друг друга расположены держатель мишени и
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента