|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ВАКУУМНО - ДУГОВОЕ УСТРОЙСТВО |  |
Номер публикации патента: 2039849 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/32 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 1277638, кл. C 23C 14/32, 1984. |
| Имя заявителя: | Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет им.Ульянова (Ленина) | | Изобретатели: | Абрамов И.С.
Быстров Ю.А.
Верещагин Д.В.
Лисенков А.А.
Шаронов В.Н. | | Патентообладатели: | Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет им.Ульянова (Ленина) |
Реферат | |
Изобретение может быть использовано в технологии производства электронных приборов. Цель изобретения заключается в очистке плазменного потока от микро- и макрокапель, а также нейтральных частиц, наличие которых снижает качество формируемого покрытия, тем самым сужая область применения данной технологии.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента