|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПУЧКА УСКОРЕННЫХ ЧАСТИЦ В ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЕ |  |
Номер публикации патента: 2035789 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J027/04 H01J037/08 | | Аналоги изобретения: | 1. Стогний А.Н. и др. Исследование эмиссии ионов из самостоятельного разряда низкого давления без магнитного поля. YI Всесоюзный симпозиум по сильноточной электронике. Тезисы докладов. Томск, ИСЭ АН СССР, 1986, ч.1, с.52-54, рис.1. |
| Имя заявителя: | Научно-производственное предприятие "Новатех" | | Изобретатели: | Метель А.С. | | Патентообладатели: | Научно-производственное предприятие "Новатех" |
Реферат | |
Использование: в способе получения пучков ускоренных частиц в технологической вакуумной камере, обеспечивающих очистку и нагрев изделий, повышение адгезии наносимых распылением покрытий, упрочение и модификацию поверхности изделий, а также полировку поверхности и распыление материалов. Сущность изобретения: способ предусматривает ионизацию газа в газоразрядной камере источников ионов и подачу на один из электродов камеры положительного по отношению к потенциалу технологической камеры и эмиссионно
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента