На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО | |
Номер публикации патента: 2032766 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C23C014/00 | Аналоги изобретения: | Патент США N 4957605, кл. C 23C 14/35, 18.09.90. |
Имя заявителя: | Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет им.В.И.Ульянова (Ленина) | Изобретатели: | Баликоев И.С. Барченко В.Т. Заграничный С.Н. Еремеев Е.В. | Патентообладатели: | Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет им.В.И.Ульянова (Ленина) |
Реферат | |
Использование: в установках электронно-лучевой технологии. Технический результат: улучшение наносимого покрытия с одновременным увеличением скорости осаждения ферромагнитных материалов. Сущность: в магнетронном распылительном устройстве, содержащем катод-мишень, магнитную систему, магнитопровод с полюсными наконечниками, магнитопровод выполнен с кольцевым выступом, на котором установлена распыляемая мишень, а постоянные магниты выполнены из феррита бария.
|