|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ЛИНЕЙНЫЙ РЕЗОНАНСНЫЙ УСКОРИТЕЛЬ ИОНОВ С РЕГУЛИРУЕМОЙ ВЫХОДНОЙ ЭНЕРГИЕЙ |  |
Номер публикации патента: 2032285 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H05H009/00 | | Аналоги изобретения: | 1. Tokigushi K. et al. Ion beam acceleration using variable freguency FRQ. Nucl. Instr. & Meth in Phys. Res., B 37/38, 1989, p. 253. |
| Имя заявителя: | Институт теоретической и экспериментальной физики | | Изобретатели: | Кушин В.В.
Плотников С.В. | | Патентообладатели: | Акционерное общество Центр ускорительных технологий "Каскад" |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к ускорительной технике, в частности к линейным резонансным ускорителям ионов, и может быть использовано при создании новых и реконструкции действующих комплексов, использующих пучки ускоренных ионов, например, для ионной имплантации. Сущность изобретения: ускоритель содержит последовательно расположенные источник 1 ионов, ускоряющую секцию 2, подключенную к источнику 4 ВЧ мощности, и камеру 7 вывода пучка ускоренных ионов. Перед камерой вывода пучка установлен поглотитель 5 энергии, снабженный средствами 6 для регулирования его эффективной толщины. Поглотитель может быть выполнен в виде набора из N пластин одинаковой толщины t или в виде замкнутого объема с отверстиями для пролета ускоренного пучка, снабженного средствами для подачи в него газа и регулирования давления газа. Введение поглотителя энергии пучка с регулятором его эффективной толщины позволяет избавиться от сложной системы автоматического регулирования частоты, фазы и амплитуды ВЧ сигнала и существенно упростить систему ВЧ питания ускорителя. 2 з.п.ф-лы, 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента