|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛН НА ОСНОВЕ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПЛЕНКИ |  |
Номер публикации патента: 2031489 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L041/22 H03H003/00 | | Аналоги изобретения: | 1. Авторское свидетельство СССР N 1299443, кл. H 03H 3/06, 1985. |
| Имя заявителя: | Омский научно-исследовательский институт приборостроения | | Изобретатели: | Зима В.Н.
Столетов И.С. | | Патентообладатели: | Омский научно-исследовательский институт приборостроения |
Реферат | |
Использование: при изготовлении устройства на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Способ изобретения: на рабочую поверхность подложки в вакууме осаждают пленочную систему, состоящую из адгезионного слоя и пленки алюминия, методом фотолитографии формируют из поеночной системы электроды преобразователя ПАВ и на электроды преобразователя в вакууме осаждают пьезоэлектрическую пленку, например, оксида цинка, в качестве адгезионного слоя, предотвращающего образование бугорков на поверхности алюминевой пленки, используют пленку иттрия толщиной не менее 20 нм.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента