|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВЫПРЯМЛЯЮЩИХ КОНТАКТОВ К КАРБИДУ КРЕМНИЯ N - ТИПА |  |
Номер публикации патента: 2031478 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/28 | | Аналоги изобретения: | Joshida S., Daimon N., Jamanaka M., Jakuma E., Misava S., Endo K., - J.Appl.Phys, 1986, v.60, N 8, р.2989. |
| Имя заявителя: | Лучинин В.В. | | Изобретатели: | Лучинин В.В.
Чуйков Д.В.
Иванов Е.Г.
Семакин В.Л. | | Патентообладатели: | Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет им.В.И.Ульянова (Ленина) |
Реферат | |
Использование: микроэлектронные устройства на карбиде кремния, включающие активные приборы с барьером Шоттки. Сущность изобретения: выпрямляющие контакты Шоттки изготавляются путем отжига предварительно химически очищенного кристала или кристаллического слоя карбида кремния в вакууме при температурах от 600 до 800°С в течение времени от 10 до 30 мин. В качестве материала контакта используют алюминий, который осаждают при температуре 350 - 80°С, в результате становится возможной замена традиционного материала контакта - золота на алюминий.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента