|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ЛАЗЕРНОЕ ПРОЕКЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО ФОРМИРОВАНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ ТОПОЛОГИИ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ |  |
Номер публикации патента: 2029980 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G03F007/20 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 1563450, кл. G 03F 7/20, 1990. |
| Имя заявителя: | Центральный научно-исследовательский институт "Электрон" | | Изобретатели: | Бойцов С.К. | | Патентообладатели: | Центральный научно-исследовательский институт "Электрон" |
Реферат | |
Использование: в микроэлектронике для формирования изображения топологии слоев при изготовлении интегральных схем. Сущность изобретения: в известное устройство введены фазовый оптический модулятор света, оптический делитель и матрица фотоприемников, причем фазовый оптический модулятор света установлен между лазером и осветительной системой, оптический делитель установлен так, что на одном его выходе расположена проекционная система, а на другом - матрица фотоприемников, связанная с матрицей оптических модуляторов света электрически. Фазовый оптический модулятор света исключает когерентный шум на элементах изображения и стоячую волну в слое фоторезиста. Матрица фотоприемников выравнивает коэффициенты пропускания элементов матрицы оптических модуляторов света. Оптический делитель позволяет пространственно согласовать матрицу оптических модуляторов света с матрицей фотоприемников. 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента