На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ЛЕНТОЧНОГО ЭЛЕКТРОННОГО ЛУЧА

Номер публикации патента: 2028692

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  4884612		Получить полное описание патента

Реферат

Использование: электронная пушка с изменяемым взаимным расположением протяженных катода и модулятора относится к электронной технике и может быть использована для электронно-лучевых процессов отжига, полировки и упрочнения изделий оптики, микроэлектроники и машиностроения. Цель изобретения - расширение возможностей регулирования параметров электронного луча ленточной формы. Сущность изобретения: электронная пушка содержит протяженный катод, закрепленный своими концами в катодных стойках, протяженные вдоль катода анод и модулятор, а также элементы и узлы для перемещения плоскостей модулятора и катодных стоек относительно друг друга. Новым в предложенной электронной пушке является то, что плоскости модулятора и катодные стойки выполнены с возможностью относительного перемещения, пушка снабжена элементами и узлами для вращения плоскостей модулятора, расположенных под углом друг к другу, в направлении изменения этого угла, для перемещения плоскостей модулятора к катоду и от него и для перемещения катодных стоек к аноду и от него, причем узлы перемещения выполнены с возможностью преобразования регулирующего вращательного движения в поступательное перемещение, элементы приводов узлов перемещения выполнены с учетом передачи движения через стенку вакуумной камеры, а сама электронная пушка установлена в отдельной камере, которая связана с основной вакуумной камерой проемом и расположена своим корпусом снаружи. 2 ил.

Вернуться к списку