|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНО - ПЛАЗМЕННОГО НАНЕСЕНИЯ НЕЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩИХ ПОКРЫТИЙ НА ИЗДЕЛИЯ В СРЕДЕ РАБОЧЕГО ГАЗА |  |
Номер публикации патента: 2026417 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/32 | | Аналоги изобретения: | Патент Франции N 2182747, кл. C 23C 13/00, 1973. |
| Имя заявителя: | Научно-производственное предприятие "Новатех" | | Изобретатели: | Саблев Л.П.
Григорьев С.Н. | | Патентообладатели: | Научно-производственное предприятие "Новатех" |
Реферат | |
Использование: в вакуумно-плазменной технологии обработки изделий, в частности для упрочняющей поверхностной обработки инструмента и деталей машин посредством нанесения тонкопленочных покрытий. Сущность изобретения: в вакуумной камере создают область для образования газовой плазмы посредством непроницаемого для ионов металла средства. Между интегрально-холодным катодом и анодом электродугового разряда генерируют металлогазовую плазму вещества катода. Затем в вышеупомянутой области создают газовую плазму, а обрабатываемые изделия погружают в зону металлогазовой плазмы между областью газовой плазмы и катодом. В результате чего в зоне газовой плазмы в процессе всего цикла обработки существуют участки поверхности элементов устройства, выполняющие функцию анода, свободные от диэлектрической пленки напыляемого на изделия материала. Это позволяет исключить изменение параметров разряда по току и напряжению в процессе обработки и соответственно позволяет существенно повысить качество наносимого покрытия. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента