|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА ПОДЛОЖКУ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2023745 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/35 | | Аналоги изобретения: | Патент США N 4572842, кл. C 07C 1/04, 1984. |
| Имя заявителя: | Марахтанов Михаил Константинович,Хохлов Юрий Александрович,Богатов Валерий Афанасьевич,Кестельман Владимир Николаевич | | Изобретатели: | Марахтанов Михаил Константинович
Хохлов Юрий Александрович
Богатов Валерий Афанасьевич
Кестельман Владимир Николаевич | | Патентообладатели: | Марахтанов Михаил Константинович
Хохлов Юрий Александрович
Богатов Валерий Афанасьевич
Кестельман Владимир Николаевич |
Реферат | |
Изобретение позволяет повысить скорость роста покрытия высокого качества путем воздействия на подложку направленным потоком плазмы, полученным в разряде со скрещенными электрическим и магнитным полями. Для этого в вакуумной камере расположены магнетронный источник и первый и второй узлы плазмообразования и создаваемые ими потоки направлены на подложку.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента