|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ АЛМАЗНЫХ ПЛЕНОК |  |
Номер публикации патента: 2023325 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/268 | | Аналоги изобретения: | 1. Молекулярно - лучевая эпитаксия и гетероструктуры. Под ред. Л.Ченга, К.Плога, М.: Мир, 1989, с.582. |
| Имя заявителя: | Инженерный центр "Плазмотег" АН Беларуси | | Изобретатели: | Ломовой Валерий Васильевич[BY]
Лукашик Михаил Михайлович[BY]
Никулин Владимир Викторович[BY]
Точицкий Эдуард Иванович[BY] | | Патентообладатели: | Инженерный центр "Плазмотег" АН Беларуси |
Реферат | |
Изобретение относится к микроэлектронике. Сущность изобретения: способ включает воздействие светового излучения определенной длины волны на исходные вещества, направляемые на подложку в виде молекулярных пучков и саму подложку в условиях высокого вакуума. Облучение осуществляют на расстоянии от подложки меньшем, чем длина свободного пробега молекул исходных веществ.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента