На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ДИЭЛЕКТРИКА НА МЕТАЛЛИЧЕСКОМ ОСНОВАНИИ | |
Номер публикации патента: 2012871 | |
Имя заявителя: | Центральный научно-исследовательский институт измерительной аппаратуры,Научно-исследовательский институт механики и физики при Саратовском государственном университете им.Н.Г.Чернышевского | Изобретатели: | Авдеев А.А. Коротин Б.Н. Писарев В.В. Тупикин В.Д. Усанов Д.А. | Патентообладатели: | Центральный научно-исследовательский институт измерительной аппаратуры Научно-исследовательский институт механики и физики при Саратовском государственном университете им.Н.Г.Чернышевского |
Реферат | |
Изобретение относится к радиоизмерительной технике и может использоваться для одновременного контроля в ходе технологического процесса двух параметров диэлектрических пленок на металлическом основании. Цель изобретения - расширение диапазона измеряемых величин. Способ контроля толщины и диэлектрической проницаемости диэлектрика включает одновременное облучение исследуемого диэлектрика на металлическом основании излучением в СВЧ и ВЧ диапазонах, причем частоту ВЧ излучения выбирают из условия, чт
|