Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


СПОСОБ ПРЕДЭПИТАКСИАЛЬНОЙ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖЕК ИЗ ОКСИДОВ

Номер публикации патента: 2010044

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 4940657/26 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: C30B033/10   C30B029/22    

Имя заявителя: Научно-исследовательский институт материалов электронной техники 
Изобретатели: Яремчук Л.Е.
Аносова Т.А.
Сендерзон Е.Р.
Пугачев В.А. 
Патентообладатели: Научно-исследовательский институт материалов электронной техники 

Реферат


Использование: при обработке монокристаллических пластин из оксидов, в частности подложек из фианита, применяемых в производстве эпитаксиальных структур, преимущественно с соединениями ВТСП. Сущность изобретения: предварительную очистку подложек перед травлением заканчивают в кипящей смеси Каро, а травление проводят в концентрированной серной кислоте при температуре 250 - 270 С в течение 0,5 - 1,5 мин, после чего очистку повторяют.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"