На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

Источник быстрых тяжелых атомов

Номер публикации патента: 2004081

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  04943698		Получить полное описание патента

Реферат

Использование: в электрофизике, в частности системах служащих для получения потоков быстрых тяжелых атомов, используемых, например, для имплантации ионов (атомов) в поверхность материалоа Сущность: применение ловушки с вращающейся плазмой в качестве источника быстрых тяжелых атомоа Изобретение обеспечивает повышение мощности источника быстрых тяжелых ионов (атомов) для ионной имплантации, повышение универсальности источника, позволяющего использовать любой сорт атомов, и чистоты получаемых быстр

Вернуться к списку