На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

Маска для напыления пленочных элементов на подложку

Номер публикации патента: 2003735

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  04935415		Получить полное описание патента

Реферат

Использование: электронная техника, изготовление микросхем Сущность изобретения: для увеличения воспроизводимости геометрии пленочных элементов отверстия на высоте 5-100 мкм от плоскости маски, накладываемой на подложку, выполнены размером, на 50 - 2000 мкм превышающим заданный размер отверстий. С целью дополнительного увеличения воспроизводимости геометрии пленочных элементов стенки отверстий выполнены с наклоном 15 - 85 к плоскости маски.

Вернуться к списку