|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПАРОГАЗОВАЯ СМЕСЬ ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ ВОЛЬФРАМА НА КРЕМНИЙ |  |
Номер публикации патента: 1823712 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/285 | | Аналоги изобретения: | Paulean P.Lami Renefics and Hechanism of Selective Tungstem Deposition by LPC.VD.J. Electrochemical Society, v.132, N 11, 1985, p.2779-2784. Патент США N 4794019, кл. B 05D 5/12, 1988. |
| Имя заявителя: | Научно-производственное объединение "Интеграл" | | Изобретатели: | Турцевич А.С.
Красницкий В.Я.
Андреев П.Е.
Трубинова Т.Н.
Сасновский В.А.
Сарычев |
Реферат | |
Использование: технология селективного осаждения вольфрама, производство сверхбольших интегральных схем. Сущность изобретения: парогазовая смесь для осаждения вольфрама, включающая гексафторид вольфрама, дополнительно содержит гексафторид молибдена при следующем соотношении ингредиентов. об. %: гексафторид молибдена 0,5 - 20; гексафторид вольфрама - остальное. 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента