|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ИСТОЧНИК ИОНОВ |  |
Номер публикации патента: 1766201 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01J027/04 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 854192, кл. H 01J 3/04, 1982. |
| Имя заявителя: | Рубежанский филиал Днепропетровского химико-технологического института им.Ф.Э.Дзержинского | | Изобретатели: | Журавлев Б.И.
Прилепский В.В.
Никитинский В.А.
Горлатов В.С. | | Патентообладатели: | Журавлев Борис Иванович |
Реферат | |
Использование: газоразрядные устройства для получения интенсивных пучков ионов различных газов, включая активные, используемых для технологических операций на базе ионно-лучевой обработки материалов в вакууме. Сущность изобретения: источник ионов содержит полые анод и катод с соосными щелевыми апертурами в обращенных друг к другу торцевых стенках. Магнитная система, состоящая из двух постоянных магнитов и четырех полюсных наконечников, обеспечивает на краях катодной контрагирующей щели встречные магнитные поля, перпендикулярные продольной оси симметрии щели, направленные так, что образуют с направлением от катода к аноду правовинтовую систему векторов. Ионно-оптическая система образована стенкой полого катода, противоположной контрагирующей щели, и извлекающим электродом, в которых выполнены соосные отверстия, равномерно распределенные по прямоугольнику, большая ось симметрии которого параллельна контрагирующей щели. 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента