|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО С ТЕРМОЭЛЕКТРОННЫМ ИОНИЗАТОРОМ |  |
Номер публикации патента: 1665717 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/35 | | Аналоги изобретения: | Патент США N 4389299, кл.C 23C 15/00, 204-298, 1983. |
| Имя заявителя: | Московский институт электронной техники | | Изобретатели: | Ванин А.А.
Кремеров М.А.
Малинов А.Ю.
Сырчин В |
Реферат | |
Изобретение относится к пленочной микроэлектронике, в частности к магнетронным устройствам ионно-плазменного нанесения пленок материалов в производстве тонкопленочных элементов интегральных микросхем. Устройство позволяет повысить эффективность и стабильность работы в процессе нанесения пленки при рабочем давлении 0,05-Па. С этой целью в катоде выполняют полость, в которой устанавливают термокатод. Над полостью установлен экран-отражатель. Термоэлектронный эмиттер обеспечивает эмиссию электронов в область магнитной ловушки, что позволяет обеспечить эффективную ионизацию рабочего газа. При этом необходим равномерный ввод электронов в зону ионизации, что достигается симметричным размещением термокатода и анода относительно кольцеобразной зоны плазмы. Анод, магнитная система, полость и экран в устройстве осесимметричны, а магнитная система всегда расположена между анодом и полостью. 3 з.п. ф-лы, 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента