|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК ОКСИДА КАДМИЯ |  |
Номер публикации патента: 1649956 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/205 | | Аналоги изобретения: | Заявка Японии N 62-72521, кл. H 01 L 21/205, опублик. 1987. Разуваев Г.А. и др. Металлоорганические соединения в электронике. М.: Наука, 1972, с. 315. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт химии при Горьковском государственном университете им.Н.И.Лобачевского | | Изобретатели: | Александров Ю.А.
Баранов Е.А.
Дягилева Л.М.
Лебедев С.А.
Цыганова |
Реферат | |
Изобретение относится к электронной технике, а именно к технологии получения пленок оксида кадмия на инородных подложках, и может быть использовано при формировании структур, содержащих тонкие слои полупроводниковых материалов с широкой запрещенной зоной в оптоэлектронике. Пленки формируют из парогазовой смеси, содержащей диметилкадмий, пары воды при 20 - 40oC при определенных содержаниях реагентов в парогазовой смеси.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента