|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| РАСТВОР ДЛЯ ЛОКАЛЬНОГО ТРАВЛЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 1604094 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/306 | | Аналоги изобретения: | Solid State Technol., 1986, v.29, N 9, p.70. Авторское свидетельство СССР N 915678, кл. H 01 L 21/306, 1980. |
| Имя заявителя: | | | Изобретатели: | Анисимова Р.П.
Трошкова Г.В.
Волчок Н. |
Реферат | |
Изобретение относится к полупроводниковой технологии. Цель изобретения - повышение качества травления за счет увеличения равномерности и стабильности процесса травления. В состав травителя входят, мас.%: азотная кислота (65%) 36,0-53,0; плавиковая кислота (42%) 2,0-5,0; уксусная кислота 20,0-35,0; хромовый ангидрид 1,0-2,5; вода - остальное. Травитель обеспечивает высокое качество рельефа с сохранением размеров элементов.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента